产品名称：负载锁升降组件产品简介：精密机械升降组件，用于 Gasonics Aura A-2000LL 负载锁系统晶圆垂直定位，实现大气与真空之间平稳精准传输。技术规格
- 功能：负载锁晶圆垂直定位传输
- 适用设备：Gasonics Aura A-2000LL 200mm 负载锁系统
- 运动：垂直精密行程，亚毫米定位精度功能特点
- 平滑垂直运动，无振动，不损伤晶圆
- 定位精准，传输优化
- 集成限位开关保护应用场景
- Gasonics Aura A-2000LL 负载锁系统晶圆传输
- 真空 - 大气晶圆传输精密升降
- 传输可靠性保障
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 