产品名称：先进工艺终点检测模块产品简介：高灵敏度光学终点检测模块，用于 Gasonics 半导体等离子设备工艺终止精确监测，实时准确判断工艺完成。技术规格
- 功能：光学工艺终点检测监测
- 适配机型：Gasonics Aura、PEP 系列等离子处理系统
- 检测技术：高分辨率光发射光谱
- 灵敏度：超高灵敏度检测工艺终点变化
- 接口：数字信号输出，接入系统控制器功能特点
- 超高灵敏度，实现精准工艺终点检测
- 响应速度快，及时捕捉工艺完成信号
- 抗等离子腔体环境干扰能力强
- 兼容多种工艺气体与工艺配方
- 可直接接入 Gasonics 控制系统使用应用场景
- 用于 Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机终点检测
- 用于 PEP 系列介质刻蚀设备工艺终止监控
- 提升工艺精度与晶圆良率的关键部件
- 设备终点检测系统升级替换部件
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 