产品名称：操作界面控制面板组件产品简介：专用操作面板组件，适用于 Gasonics Aura 3510 系统，提供操作人员直接控制系统、调整参数、监控实时状态的功能。技术规格
- 功能：操作界面、系统控制、参数显示面板
- 适配机型：Gasonics Aura 3510 等离子处理系统
- 接口：多功能控制开关、按键、状态显示屏
- 结构：工业级前面板，密封防尘设计
- 版本：C 版硬件，功能增强功能特点
- 可直接操作关键系统控制与工艺参数
- 状态指示清晰，便于快速监控设备运行
- 密封结构，适合洁净室环境，耐用可靠
- 布局直观，操作简便高效
- 兼容 Gasonics 原厂操作协议应用场景
- 用于 Gasonics Aura 3510 等离子设备操作控制
- 用于半导体厂区设备监控与参数调整
- 设备操作界面升级替换部件
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 