产品名称：增强型射频匹配网络模块产品简介：升级版射频阻抗匹配网络，性能与可靠性更高，用于 Gasonics 半导体等离子设备，阻抗匹配更快更稳定。技术规格
- 功能：增强型射频阻抗匹配模块
- 适配机型：Gasonics Aura、PEP 系列等离子系统
- 频率范围：标准等离子射频频段优化
- 功率容量：增强型功率承载能力
- 散热：优化散热结构，支持长时间连续运行功能特点
- 阻抗匹配效果更优，功率传输效率更高
- 响应等离子负载变化速度更快
- 在严苛等离子环境下稳定性更强
- 具备高级反射功率与过载保护
- 可向下兼容原有 Gasonics 射频系统应用场景
- 用于高性能 Gasonics Aura 2000LL 设备射频匹配
- 用于高功率 PEP 系列刻蚀机腔体匹配
- 提升工艺效率与良率的关键部件
- 射频匹配系统性能升级替换件
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 