产品名称：等离子腔体真空密封组件产品简介：Gasonics 等离子设备专用腔体密封部件，用于腔体门、观察窗等部位的真空密封，保障腔体高真空环境的密封性与稳定性。技术规格
- 密封材质：全氟醚（Kalrez）/ 氟橡胶（Viton）
- 适用温度：-20–250℃
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s He
- 适配腔体：Gasonics 单 / 双腔体等离子设备
- 安装方式：嵌入式 / 法兰式安装功能特点
- 优异的真空密封性能，长期稳定无泄漏
- 耐等离子体腐蚀与高温环境
- 高弹性，适配腔体热胀冷缩
- 模块化设计，便于更换与维护应用场景：等离子去胶、清洗、蚀刻设备的腔体门、观察窗、电极法兰等密封部位。
Gasonics AWD-D-2-8-4-001 
Gasonics A95-075-01 
Gasonics 17329-01 