产品名称：等离子体射频电源模块（低噪声型）产品简介：专为低噪声工艺需求设计的射频电源，优化了电磁兼容与输出纹波，适配对电磁干扰敏感的精密等离子工艺。技术规格
- 输出功率：300–700W
- 工作频率：13.56MHz
- 输出模式：连续波 + 脉冲调制
- 冷却方式：静音强制风冷
- 电磁兼容：符合 Class B 工业标准功能特点
- 超低纹波输出，等离子体稳定性极佳
- 低电磁干扰，不影响周边精密设备
- 功率控制精度高，工艺重复性好
- 具备完善的保护机制，运行安全可靠应用场景
- 先进半导体制造中低损伤等离子清洗
- 高灵敏度 MEMS 器件等离子表面处理
- 光学元件、精密机械零件等离子清洁
- 科研机构低噪声等离子体工艺研发
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 