产品名称：多通道工艺气体流量控制模块产品简介：该模块是 Gasonics 等离子设备中用于工艺气体精确分配、输送与监控的集成组件。通过内部高精度质量流量控制单元，实现对氧气、氩气、氮气、氟碳类反应气体等的稳定控制，确保工艺气体配比精准，从而保证等离子反应过程稳定可靠。技术规格
- 适用气体：惰性气体、氧化性气体、部分腐蚀性工艺气体
- 流量控制范围：0–500sccm
- 控制精度：满量程范围内误差极小
- 阀体材质：316L 不锈钢，满足高洁净要求
- 接口形式：高真空 VCR 密封接口功能特点
- 采用高精度 MFC 质量流量控制技术，响应迅速、控制稳定
- 支持多路气体同时控制，简化整机气路结构
- 具备气体泄漏检测、流量异常报警功能
- 模块化结构设计，便于现场维护、校准与更换
- 长期运行漂移小，可靠性高，适合 24 小时连续生产应用场景
- 等离子刻蚀、等离子沉积工艺的气体供给
- 半导体晶圆清洗、表面改性工艺
- 真空设备腔体气氛控制与压力调节
- 高端精密电子制造工艺气体控制系统
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 