产品名称：射频功率控制与驱动模块产品简介：本产品是 Gasonics 等离子处理系统中的核心电气控制部件，主要用于对等离子激发所需的射频能量进行精确调节、稳定输出与安全保护。模块采用工业级设计，能够在高真空、强电磁干扰的半导体工艺环境中长期稳定工作，是保证刻蚀、去胶、清洗等工艺一致性的关键组件。技术规格
- 工作频段：13.56MHz 标准工业射频频段
- 功率调节范围：0–3000W 连续可调
- 控制方式：模拟量控制、数字总线控制双重模式
- 供电条件：220V 交流电，50/60Hz
- 工作环境温度：10℃–40℃
- 通信接口：RS-232、RS-485功能特点
- 具备高精度闭环功率控制，输出稳定性高，波动极小
- 内置过流、过压、过热、反射功率过高多重保护机制
- 支持远程监控与参数设定，适配自动化生产线集成
- 响应速度快，能够快速跟随工艺参数变化进行调整
- 结构紧凑，抗干扰能力强，适合复杂设备内部安装应用场景
- 半导体晶圆等离子清洗、光刻胶去除
- 微机电系统 MEMS 表面活化与改性
- 光学器件、精密器件低温等离子清洁
- 实验室及量产型等离子刻蚀设备配套使用
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 