产品名称：等离子腔体气体分配组件产品简介：Gasonics 等离子设备腔体内部气体均匀分配组件，确保工艺气体在腔体内部均匀分布，提升工艺均匀性与重复性。技术规格
- 材质：316L 不锈钢电解抛光
- 气体通道：多路独立通道
- 分布形式：环形 + 径向多孔分布
- 适配腔体：Gasonics Aura 3000 系列腔体
- 工作压力：0–10Torr功能特点
- 气体分布均匀，腔体内部浓度差 < 5%
- 耐腐蚀，适配多种工艺气体
- 流道设计优化，气体响应速度快
- 安装便捷，便于清洁与维护应用场景
- 半导体晶圆等离子去胶、清洗工艺气体分配
- 等离子表面活化、改性工艺均匀性优化
- 化合物半导体、MEMS 工艺气体均匀供给
- 平板显示、光伏制程等离子工艺气体分配
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 