产品名称：等离子系统高级逻辑控制组件产品简介：本组件为 Gasonics 高端等离子处理设备的中央控制单元，负责统筹协调射频系统、气体系统、真空系统、温度系统、传动系统等全部子系统，实现工艺全过程自动化运行、参数闭环调节与安全联锁保护，是设备智能化运行的核心。技术规格
- 数字输入通道：多路信号采集
- 模拟输出通道：多路控制量输出
- 控制逻辑：可编程逻辑控制
- 通信方式：设备内部总线、上位机通信协议
- 数据存储：支持多组工艺配方存储与快速调用功能特点
- 多系统协同控制，实现功率、流量、真空、温度同步调节
- 支持自定义工艺流程编辑、存储、一键调用
- 具备完善的安全联锁机制，异常情况自动保护停机
- 实时采集运行数据，支持故障诊断与状态显示
- 兼容性强，可适配多款 Gasonics 主流机型升级替换应用场景
- 高端半导体等离子去胶、清洗、刻蚀设备
- 科研机构、高校实验室精密等离子处理系统
- 生产线自动化等离子工艺设备
- 老旧等离子设备控制系统升级改造
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 