产品名称
WASCO UHP160 系列超纯/真空压力开关,全焊接不锈钢结构,用于腐蚀性与高纯气体压力阈值报警。
产品简介
该开关面向半导体与高纯气体系统,取消弹性体、O 形圈和可拆密封,以金属全焊形成无外泄通道,在气柜、臭氧、分配系统里提供固定或可调设定点通断信号。
技术规格
传感器类型 3,系统最高压力 30 inHg;真空设定点 1.6 至 29.5 inHg,设定公差 ±1.2 inHg,复位带 1.0 至 4.6 inHg;接头 1/4 英寸 VCR 面密封(L2B 类),本体 316L 不锈钢,膜片 17-7PH 与 316L 不锈钢;氦检漏 ≤1×10⁻⁹ std cc/s,符合 SEMI F1;循环寿命 ≥100 万次;防护 IP67;工作温度 -54 至 107℃。
功能特点
全焊接零弹性体、零 O 形圈;微动快动输出,可提供固定或可调设定点;100 级洁净环境制造与包装,适合超高纯与腐蚀性介质。
应用场景
半导体气柜、臭氧发生器、超高纯气体分配、湿法台供气管路、实验室高纯气体压力保护。
性能参数
精度以设定公差与复位带表征,非连续变送;开关输出为干接点微动信号;洁净度按 ISO Class 5/100 级装配与包装。
材质构成
316L 不锈钢本体,17-7PH 不锈钢膜片,VCR 金属面密封接头,内部金属焊接组件,无橡胶密封件。
结构特征
紧凑圆柱/法兰式传感器体,外接 VCR 接头;全焊封闭式,无可拆垫片;部分版本带调节螺钉与快动开关盒。
工作原理
过程压力作用于金属膜片产生位移,达到设定值时机械传动触发微动触点,输出通断信号;压力回落至复位带后恢复常态。
安装要求
VCR 接头按厂家扭矩装配,使用专用面密封工具;安装位置避开强烈振动与机械冲击;投运前用高纯氮气吹扫管路,确认流向与接口规格。
使用注意事项
禁止现场解体焊接件;设定点、介质兼容性与接口形式必须和订单代码一致;避免颗粒污染、快速压力冲击与超范围真空/正压;长期停用应保存在洁净袋内。




STN Atlas RM401
TDK-Lambda RM15-4R0GB
Pepperl+Fuchs RL28-8-H-1500-LAS105110
KONGSBERG RHUB200-5