产品名称：Aerotech BAI20-320 无铁芯直线电机

产品简介：BAI20-320 是 Aerotech BAIL 系列的无铁芯直线电机，采用 U 型磁轨 + 三相绕组设计，专为半导体光刻、精密测量等微米级定位场景设计。

技术规格：

功能特点：U 型磁轨 + 三相绕组设计；微米级定位精度，适用于半导体光刻、精密测量等场景。

应用场景：半导体光刻、精密测量等需要微米级定位的场景；兼容 ISO 100 洁净室环境。

使用注意事项：适配 40℃ 环温下连续推力 280 N 的工况；安装使用时需满足 ISO 100 洁净室兼容要求。