产品名称：INFICON BCG450-SD 353-557 三合一真空计（TripleGauge）
产品简介：BCG450-SD 353-557 是 INFICON 公司生产的 BCG450 系列三合一真空计，型号中的 SD 表示带 DeviceNet 接口和切换功能，订货号 353-557 对应真空连接为 DN 25 ISO-KF。该真空计将电容薄膜（CDG）、皮拉尼（Pirani）和热阴极电离（Bayard-Alpert）三种传感器技术集成于一个小巧经济的规管中，可取代三个独立传感器，节省成本与空间。
技术规格：
- 测量范围：5×10⁻¹⁰ 至 1500 mbar（3.75×10⁻¹⁰ 至 1125 Torr）
- 精度：
- 10⁻⁸ 至 50 mbar：读数的 ±15%
- 50 至 950 mbar：读数的 ±5%
- 950 至 1050 mbar：读数的 ±2.5%
- 可重复性：10⁻⁸ 至 10⁻² mbar 范围内为读数的 5%
- 热离子发射：2×10⁻² mbar（高），8×10⁻³ mbar（低，可通过 RS232/现场总线切换）
- 除气：电子轰击除气，最大 3 分钟（p < 7.2×10⁻⁶ mbar）
- 最大压力：5 bar（绝对）
- 运行环境温度：0℃ 至 +50℃
- 贮存温度：-20℃ 至 +70℃
- 法兰处烘烤温度：80℃；移除烘烤电子设备后可达 150℃
- 电源电压：20 至 28 V DC
- 模拟输出信号：0 至 10.3 V
- 数字接口：RS232C，D-Sub 15 针公头
- 最大电缆长度：100 m
- 接口类型：DeviceNet（SD 版本）
- 真空连接：DN 25 ISO-KF
- 暴露于真空的材料：Y₂O₃、Ir、Mo、Cu、W、NiFe、NiCr、Al₂O₃、SnAg、不锈钢、玻璃
功能特点：
- 三种传感器技术合一，10 mbar 以上测量与气体类型无关，对混合气体提供更可靠的控制
- 皮拉尼联锁保护热灯丝，防止过早烧毁
- 高真空和大气压下皮拉尼自动调整，无需人工干预
- 相对于大气压的差压测量，消除大气压变化引起的不稳定性
- 传感元件易更换，带机载校准数据，保证数据再现性
- 可选图形显示器和现场总线接口
工作原理：依靠规管内集成的三种传感器技术（电容薄膜传感器、皮拉尼传感器、热阴极电离传感器）协同工作，实现最小化气体类型依赖的测量。1 mbar 以下由皮拉尼传感器和热阴极电离传感器接管；10 mbar 至大气压之间由电容薄膜传感器工作，且不受气体类型影响。热阴极由皮拉尼测量系统在低于 2.4×10⁻² mbar 阈值时开启（防止灯丝烧毁），当压力超过 3.2×10⁻² mbar 时关闭。
应用场景：
- 半导体工业：传送室和自锁室的压强测量
- 工业镀膜
- 低至超高真空范围的系统一般真空测量与控制
使用注意事项：用于非易燃气体和气体混合物的真空测量；可配合 INFICON 真空计控制器 VGC401、VGC402 或 VGC403 或其他控制设备运行；热阴极由皮拉尼测量系统在低于 2.4×10⁻² mbar 阈值时开启，当压力超过 3.2×10⁻² mbar 时关闭，以防止灯丝烧毁。
SAUTER AVM234SF132 
Esters ATM1613 
SCHUMACHER ATCS-15 1464-0320 
Allied Telesis AT-MX40FST-05 