产品名称
ASYST HS80-01(物料号 9700-4774-01)半导体自动化智能通信网关,又名 SMART-COMM 通信接口模块。
产品简介
面向晶圆传输与半导体前端设备,用于 SMIF 送料器、Load Port、EFEM 等单元与上位机/主机系统之间的协议转换和数据转发,适配洁净间控制柜安装。
技术规格
- 通信协议:SECS-I、SECS-II、GEM、EtherNet/IP、Modbus TCP、DeviceNet
- 以太网:RJ45 10/100 Mbps 自适应,可选 RS-232/485
- 供电:24 V DC 工业标准
- 指示:电源、运行、收发、故障 LED
- 壳体:金属无风扇,EMI 屏蔽,适配 Class 100 及以上洁净环境
- 安装:控制柜 DIN 导轨或面板安装
- 重量:约 2.0–2.5 kg
- 环境:0–50℃(部分资料标至 60℃),非冷凝
功能特点
- 多协议实时转换,缓存晶圆图谱、POD 状态并上报工具控制器
- 支持 Web/PC 配置网络参数与协议映射
- 电源过压、过流保护
- 可替代同系列 HS80-04(9700-4774-04)
应用场景
SMIF-POD 开盖通信、EFEM 集成、200mm/300mm 晶圆分选与对位设备、半导体 MES 数据追溯。
安装要求
按厂区子网分配静态 IP;确认 HSMS 主动/被动模式与主机一致;机壳可靠接地,满足 ESD 与洁净柜规范。
使用注意事项
固件版本需与 ASYST 系统软件匹配;更换前核对物料号 9700-4774-01;光纤/串口接线前断电,避免 SECS 会话异常。





Baumüller GDM120N-5280750
Agilent G7167-60005
EBM-PAPST G2E140-51-09R-180225
Agilent G1311-67701