半导体晶圆制造设备、薄膜沉积腔室、等离子体加工真空系统。

紧凑螺纹安装本体、信号输出连接器、气体流通结构。

物理传感元件检测真空腔室内气体压力，将压力值转换为标准模拟电信号送至设备控制单元。