产品名称： 65 系列电动气动摆板式节流/隔离真空阀

产品简介： 高真空摆阀（pendulum valve），内部摆动板既可连续调节电导以控制腔压，又能弹簧闭合并气动顶起实现硬隔离，集成步进电机+编码器与 PID 位置控制器，用于半导体工艺腔压力控制。

功能特点： 微托级压力控制、自适应 PID 自学习、摆板快速响应、节流与隔离合一、洁净室兼容材料。

应用场景： PVD/CVD 腔压控制、刻蚀腔节流、Load-lock 隔离、真空镀膜机、科研束线闸门。

工作原理： 步进电机驱动摆板在孔内倾斜，控制器读编码器位置与腔压规，算 PID 输出摆动板设定电导使腔压跟踪设定值；完全关闭时弹簧压密封面+气动顶起实现硬隔离。

安装要求： 按 CF/NW 扭矩紧固法兰；接洁净干燥空气供气动顶起；编码器缆与动力缆分开；通 N₂ 吹扫后入工艺气；仅安装于受控颗粒环境。

使用注意： 禁裸手触密封面/O 圈；装后做氦检；加热版勿在无加热器电源时运行；首次投用执行 LEARN 行程学习再切自动。