产品名称：220D 系列 Baratron® 电容薄膜式绝对压力变送器/控制器
产品简介：220DD-00100A2B 是 MKS Instruments（原 MKS Granville-Phillips）基于电容薄膜技术的绝对压力测量产品，属于 220 系列电容薄膜规平台。其核心优势在于测量结果与气体种类无关——无论腔室内是氮气、氩气、氧气还是 NF₃、Cl₂ 等腐蚀性工艺气体，读数保持一致，是半导体刻蚀、PVD 溅射、OLED 蒸镀等多气体切换工艺中不可替代的压力基准。后缀 A2B 代表 24 Vdc 供电、0–10 V 输出配置。
技术规格：
- 测量范围：1000 Torr 满量程（绝对压力）
- 输出信号：0 ~ 10 V DC 线性模拟输出
- 供电电压：24 V DC
- 精度：±0.2% of Reading（典型值，25°C）
- 长期稳定性：< 0.2% FS / 年
- 真空接口：NW16 (KF16) 快速法兰
- 电气接口：15 针 D-sub（兼容 MKS 925/937 控制器）
- 工作温度：0 °C ~ +50 °C（电子单元）
- 响应时间：< 100 ms（10%~90% 阶跃响应）
材质构成：316L 不锈钢膜片，全金属焊接密封，无有机材料。
功能特点：
- 气体成分无关的精确绝对压力测量
- 力平衡电容式传感，热滞后极小
- 内置全量程校准与温度漂移补偿
应用场景：半导体制造光刻与刻蚀设备；CVD 反应器压力控制；PVD 溅射与真空镀膜；OLED 蒸镀；分析仪器（质谱仪）真空监测；洁净室 HVAC 高端压力级联控制。
工作原理：通过测量金属膜片在压力作用下的微小形变来确定绝对压力，以电容变化量转换为线性电压输出。
使用注意事项：
- 仅适用于非腐蚀性、非冷凝气体
- 校准可追溯至 NIST 标准
- 电子单元工作温度须保持在 0~50°C
KEBA AR-181 
Absolute Process Instruments API4380GD 
Bachmann AIO288/1 
VAT 65040-PACV-AYU2 