ZMI™ 系列双频氦氖激光头

7702 BH5-6314 是美国 Zygo 公司 ZMI™ 系列的连续波双频氦氖（HeNe）气体激光头，作为高精度光学计量的基础光源，为干涉仪系统提供高度稳定的双频输出，是高精度位置计量与干涉测量的核心组件。

半导体晶圆台的纳米级位移测量、精密位置计量与干涉测量、半导体制造、精密计量、高端 CNC 机床位置反馈、光学元件检测、航空航天部件检测、生物医学。