AMAT 0010-00015

产品名称：设备紧急停止控制模块产品简介：该模块是 AMAT 半导体设备的核心安全部件，用于实现设备的紧急停止功能，适配多款 AMAT 刻蚀、沉积、CMP 设备，...

AMAT 0010-00015

产品名称：设备主控系统中央处理器模块产品简介：该模块是 AMAT 半导体设备控制系统的核心部件，型号为 CPU-6800，集成高性能处理器与存储单元，用于运行设...