• 产品名称：设备主控系统中央处理器模块
• 产品简介：该模块是 AMAT 半导体设备控制系统的核心部件，型号为 CPU-6800，集成高性能处理器与存储单元，用于运行设备控制程序、处理工艺参数、协调各功能模块工作，适配多款 AMAT 刻蚀、沉积、CMP 设备，具备强大的数据处理与通信能力，是设备高效、稳定运行的 “大脑”。
• 技术规格
  • 处理器型号：工业级多核处理器，主频 2.5GHz
  • 存储容量：8GB DDR4 内存，128GB 固态硬盘
  • 通信接口：4 个 Ethernet 端口，2 个 RS485 接口，2 个 USB 3.0 接口
  • 工作电压：DC 24V ±5%，功耗≤60W
  • 工作温度范围：0℃至 55℃，适配设备控制柜环境
  • 数据处理能力：支持同时处理 100 路以上设备信号
  • 使用寿命：≥80000 小时连续工作
• 功能特点
  • 具备多任务并行处理能力，可同时运行工艺控制、数据采集、状态监测等程序
  • 内置冗余备份系统，保障数据存储与程序运行安全
  • 支持远程诊断与固件升级，降低设备维护成本
  • 具备故障自诊断功能，可快速定位系统故障，缩短停机时间
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura、Reflexion 等全系列半导体设备，用于设备各模块的协同控制，应用于半导体晶圆制造全流程，尤其适用于 14nm 以下先进工艺中对设备控制精度与响应速度要求极高的场景，保障工艺稳定性与产品良率。