• 产品名称：设备控制系统数据采集卡
• 产品简介：该数据采集卡是 AMAT 半导体设备控制系统的核心部件，用于实时采集设备各模块的运行数据，包括温度、压力、流量、电压、电流等参数，适配多款 AMAT 设备的主控系统，具备高速数据传输与处理能力，是实现设备状态监测、工艺参数追溯与故障诊断的关键组件。
• 技术规格
  • 模拟输入通道：16 路单端模拟输入，采样精度 16 位
  • 数字输入 / 输出通道：32 路数字输入，32 路数字输出
  • 采样速率：1MS/s，保障数据实时采集
  • 工作电压：DC 12V ±5%，功耗≤25W
  • 接口类型：PCIe 4.0 高速接口，数据传输速率 8Gbps
  • 工作温度范围：0℃至 50℃，适配设备控制柜环境
  • 兼容性：适配 AMAT 设备专用控制系统，支持数据实时上传
• 功能特点
  • 具备数据预处理功能，自动过滤干扰信号，保障数据准确性
  • 支持数据缓存，断电后可保存数据≥48 小时
  • 具备数据加密功能，保障工艺参数安全
  • 支持与设备主控系统协同工作，实现数据实时分析与反馈控制
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura、Reflexion 等全系列半导体设备，用于设备运行数据的实时采集与处理，应用于半导体晶圆制造全流程，为工艺优化、设备维护、质量追溯提供数据支撑，尤其适用于 14nm 以下先进工艺中对设备运行状态高精度监测的需求。