• 产品名称：设备紧急停止控制模块
• 产品简介：该模块是 AMAT 半导体设备的核心安全部件，用于实现设备的紧急停止功能，适配多款 AMAT 刻蚀、沉积、CMP 设备，可实时监测设备的安全状态，当检测到异常情况时，立即切断设备动力电源与工艺气体供应，保障操作人员与设备的安全，是设备安全防护体系的关键组成部分。
• 技术规格
  • 控制通道数量：8 路独立紧急停止控制通道，覆盖设备关键部件
  • 响应时间：≤10ms，保障紧急情况下快速停机
  • 工作电压：AC 220V/380V ±10%，适配设备电源系统
  • 工作温度范围：-10℃至 60℃，适配工业环境
  • 防护等级：IP65，防尘防水，适配设备外部安装
  • 输出信号：常开 / 常闭触点信号，支持与设备主控系统联动
  • 使用寿命：≥100000 次触发循环
• 功能特点
  • 采用冗余设计，双回路控制，提升紧急停止的可靠性
  • 具备状态反馈功能，实时向设备主控系统传输模块工作状态
  • 抗干扰能力强，不受设备电磁环境影响，保障信号稳定
  • 支持手动与自动双重触发方式，适配不同紧急情况
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura、Reflexion 等全系列半导体设备，用于设备工艺腔室、机械臂、射频电源等关键部位的紧急停止控制，应用于半导体晶圆制造全流程，保障设备在安全状态下运行，避免因误操作或设备故障导致的人员伤害与设备损坏。