• 产品名称：射频匹配网络电缆组件
• 产品简介：这是应用材料公司生产的用于半导体制造设备中射频系统的专用电缆组件，主要用于射频匹配网络与相关设备部件之间的信号传输连接，保障射频能量稳定高效传输，适配多种型号的射频匹配器与射频发生器，是半导体工艺设备射频回路中的关键连接部件。
• 技术规格：
  • 线缆类型为低损耗同轴射频电缆，特性阻抗 50 欧姆，确保射频信号传输过程中损耗最小化。
  • 连接器采用标准射频专用接口，具备防腐蚀、抗振动特性，插拔次数不低于 5000 次，接触电阻小于 0.01 欧姆。
  • 工作频率范围覆盖 300kHz - 6GHz，可满足半导体制造中常见的射频工艺需求。
  • 工作温度范围为 - 40℃至 125℃，适配半导体设备严苛的工作环境温度变化。
  • 线缆长度根据设备型号标准配置，误差控制在 ±0.5cm 以内，保证安装适配性。
• 功能特点：
  • 采用高纯度铜芯导体，外层包裹双层屏蔽网，有效降低电磁干扰和信号泄漏，保障射频信号传输的稳定性和完整性。
  • 电缆外皮采用耐化学腐蚀的氟塑料材质，可抵御半导体制造过程中常见的腐蚀性气体和化学物质侵蚀。
  • 整体结构经过优化设计，具备良好的柔韧性，便于设备内部布线安装，同时抗弯折能力强，延长使用寿命。
  • 接口处采用精密压接工艺，确保连接牢固，降低接触不良风险，减少信号传输故障。
• 应用场景：主要应用于半导体晶圆制造设备中的刻蚀、沉积等工艺模块，如 Centura 系列刻蚀机、Producer CVD 沉积设备等，用于射频匹配器与射频电源、腔体之间的信号连接，保障等离子体工艺稳定进行。