产品名称：Σ-F系列伺服驱动器
产品简介：该产品是安川专为半导体及精密电子制造领域开发的Σ-F系列伺服驱动器，主打超高速响应与纳米级控制精度，可与同系列小惯量伺服电机完美适配，能有效应对芯片封装、晶圆检测等场景中对运动控制的严苛要求，具备抗干扰能力强、运行稳定等核心优势。
技术规格：
- 额定输出功率：0.2kW
- 电源电压：三相AC200～240V
- 额定输入电流：1.8A
- 速度响应频率：2kHz
- 适配编码器：24位绝对值编码器
- 控制精度：位置控制精度±0.001μm
- 输出频率范围：0～5000Hz
- 通信接口：MECHATROLINK-III（100Mbps）
- 防护等级：IP54
- 工作温度：0～40℃
- 冷却方式：自冷式
- 绝缘等级：F级
功能特点：
- 采用安川第三代伺服控制算法，实现2kHz超高速速度响应，可快速抑制负载扰动
- 24位高分辨率编码器配合全闭环控制，满足纳米级定位需求，适配精密检测设备
- 内置半导体行业专用振动抑制功能，运行时振幅控制在0.01mm以内
- 具备电磁兼容（EMC）强化设计，符合IEC 61800-3标准，减少对周边精密仪器的干扰
- 支持参数加密存储，防止核心控制参数被篡改，保障生产工艺稳定性
- 配备专用调试软件，可实时监控电流、速度等参数波形，便于工艺优化
应用场景：半导体晶圆切割设备、芯片键合机、精密电子元件封装机、液晶面板检测设备、微型传感器组装设备。
YASKAWA Z1B1B034CIMR-ZU4A0034FAA 
YASKAWA SGDH-1ADE-0Y 
YASKAWA SGMGH-1AA2A21 