• 产品名称：安川 NXC100 半导体晶圆预对准控制器
• 产品简介：专为半导体晶圆搬运系统设计的预对准控制器，适配 200mm/300mm 晶圆，具备高精度晶圆定位与角度校准功能，与安川 XU-RCM 系列晶圆搬运机器人配套使用，保障晶圆传输精度。
• 技术规格
  1. 适配晶圆尺寸：200mm/300mm，定位精度 ±0.01mm，角度校准精度 ±0.01°。
  2. 控制方式：伺服电机驱动控制，支持 SECS/GEM 协议，适配半导体工厂 MES 系统对接。
  3. 输入电源：AC220V±10%，50/60Hz，额定功率 0.5kW。
  4. 安装方式：机架式安装，适配半导体设备标准控制柜，重量约 13.85kg。
  5. 环境适配：Class 1 洁净室兼容，机身材质防腐蚀、无颗粒脱落。
• 功能特点
  1. 高精度晶圆定位，保障晶圆在光刻、蚀刻等设备中的加工精度。
  2. 支持晶圆存在检测与防碰撞功能，避免晶圆损伤。
  3. 与安川晶圆搬运机器人无缝对接，实现晶圆自动传输与预对准一体化控制。
  4. 具备故障自诊断与报警输出功能，便于快速排查维护。
• 应用场景：半导体晶圆 Fab 厂的光刻、蚀刻、CVD/PVD 等设备前的晶圆预对准，以及晶圆检测设备的自动上下料系统。