• 产品名称：半导体设备射频匹配网络组件
• 产品简介：这是应用材料公司（AMAT）推出的一款高性能射频匹配网络组件，专门用于半导体制造设备中的射频功率传输与匹配，能够确保射频能量以最高效率传输到工艺腔室，保障工艺过程的稳定性和一致性。
• 技术规格
  • 适配射频功率范围：0-3000W，频率范围：13.56MHz
  • 阻抗匹配范围：5-50Ω，匹配精度：±0.1Ω
  • 工作温度：-20℃至 85℃，相对湿度：5% - 95%（非冷凝）
  • 接口类型：N 型射频接口，冷却方式：风冷
• 功能特点
  • 具备自动匹配功能，响应时间小于 100ms，可快速适应负载变化
  • 内置功率检测模块，实时监测正向与反向功率，精度达 ±1%
  • 采用耐腐蚀、耐高温的特殊材料制造，延长使用寿命
  • 支持远程控制与数据传输，可与设备主控系统无缝对接
• 应用场景：主要应用于半导体晶圆制造中的等离子体刻蚀、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等工艺设备，适配 AMAT Endura、Centura 等系列机型。