• 产品名称：真空压力传感器
• 产品简介：这是一款高精度的真空压力测量装置，专为半导体、光伏等行业的真空工艺环境设计，可精准测量工艺腔室内的真空度，为工艺控制提供可靠的数据支撑。
• 技术规格
  • 测量范围：1×10^-9 Torr 至 1×10^3 Torr
  • 测量精度：±0.5% 满量程，分辨率：1×10^-11 Torr
  • 输出信号：4-20mA 模拟信号，供电电压：24VDC
  • 工作温度：-10℃至 120℃，压力接口：KF25
• 功能特点
  • 采用电容式传感原理，测量稳定性好，漂移量小
  • 具备温度补偿功能，在宽温度范围内保证测量精度
  • 防护等级达 IP65，可适应恶劣的工业环境
  • 支持校准功能，用户可自行校准，保证长期测量准确性
• 应用场景：适用于半导体晶圆制造中的刻蚀、沉积、离子注入等真空工艺环节，也可用于光伏电池片生产、真空镀膜等设备的真空度监测。