• 产品名称：半导体真空系统气动蝶阀
• 产品简介：该气动蝶阀是半导体真空系统的关键通断控制部件，用于真空管路中控制气体的流通与切断，采用气动驱动方式，可快速响应控制指令，保障真空系统的正常运行与工艺的顺利开展。
• 技术规格
  • 通径：100mm，材质：不锈钢 316L
  • 适用压力范围：1×10^-8 Torr 至 10bar，适用介质：各类工艺气体、真空
  • 密封材质：氟橡胶，驱动气压：0.4-0.6MPa
  • 开关时间：≤1.5s，泄漏率：≤1×10^-10 mbar・L/s
  • 工作温度：-30℃至 180℃
• 功能特点
  • 阀体结构紧凑，流阻小，气体流通效率高，降低系统能耗
  • 采用双作用气缸驱动，开关动作稳定，使用寿命长，可实现≥50000 次无故障操作
  • 密封性能优异，有效防止真空泄漏与气体污染
  • 配备位置反馈装置，实时反馈阀门开关状态，便于系统监控
  • 安装方式灵活，可适配不同走向的真空管路
• 应用场景：用于半导体设备的真空工艺腔室与真空泵之间的管路、工艺气体输送主管路，适配 AMAT 各类真空设备，如刻蚀机、沉积设备等的真空系统。