• 产品名称：半导体设备伺服驱动器
• 产品简介：这是 AMAT 为半导体设备精密运动机构设计的伺服驱动器，可驱动伺服电机实现精准的位置、速度和扭矩控制，满足半导体制造中晶圆传输、工作台定位等高精度运动需求，保障设备运行的精准性与稳定性。
• 技术规格
  • 适配电机类型：永磁同步伺服电机，额定功率：2kW
  • 额定电流：8A，峰值电流：24A，电压范围：220VAC（单相）
  • 位置控制精度：±0.0005mm，速度控制范围：0-5000rpm
  • 编码器接口：绝对值编码器，分辨率：25 位
  • 冷却方式：强制风冷，工作温度：-10℃至 55℃
• 功能特点
  • 采用矢量控制技术，电机运行平稳，动态响应快，定位时间小于 200ms
  • 具备过载、过压、过热、欠压等多种保护功能，防止驱动器与电机损坏
  • 支持多种控制模式切换，如位置控制、速度控制、扭矩控制
  • 内置参数自整定功能，可自动匹配电机参数，简化调试流程
  • 支持 CANopen、EtherCAT 等工业总线通信，便于系统集成
• 应用场景：主要用于半导体设备中的晶圆传输机械臂、光刻设备工作台、腔室部件运动机构等，适配 AMAT Centura、Endura 等系列半导体制造设备，保障晶圆传输与定位的精准性。