• 产品名称：半导体设备射频功率传输线缆组件
• 产品简介：该线缆组件是半导体设备射频能量传输的关键载体，专门用于连接射频电源与工艺腔室的射频匹配网络，能够高效、稳定地传输射频功率，减少功率损耗，保障工艺过程中射频能量的有效利用。
• 技术规格
  • 适配射频功率：0-5000W，频率范围：13.56MHz、27.12MHz
  • 线缆阻抗：50Ω，衰减系数：≤0.1dB/m（13.56MHz）
  • 接口类型：N 型公头 - N 型母头，线缆长度：3m
  • 工作温度：-30℃至 100℃，绝缘材质：聚四氟乙烯
  • 屏蔽层结构：双层编织铜网，屏蔽效率：≥90dB
• 功能特点
  • 采用低损耗的射频线缆，功率传输效率高达 98%
  • 屏蔽性能优异，可有效抑制电磁干扰，避免对设备其他部件造成影响
  • 线缆外护套采用耐磨、耐腐蚀材料，延长使用寿命
  • 接头经过特殊处理，接触电阻小，连接稳定，插拔次数≥1000 次
  • 具备良好的柔韧性，便于设备内部布线
• 应用场景：主要用于半导体晶圆制造中的等离子体刻蚀、PVD、CVD 等设备，适配 AMAT Endura、Centura 等系列机型的射频功率传输系统。