• 产品名称：电源分配模块（Power Distribution Module）
• 产品简介：该模块是 AMAT 半导体设备的核心供电分配部件，用于将外部输入的高压电能精准分配至设备各功能单元，同时具备过载、短路、过压等保护功能，保障设备各部件稳定供电，避免因供电异常导致设备故障或工艺中断。
• 技术规格
  • 输入电压：三相 380VAC，输出路数：16 路，单路最大输出电流：30A
  • 额定功率：15kW，转换效率：≥98%，工作频率：50/60Hz
  • 防护等级：IP40，工作温度：0℃至 45℃，冷却方式：风冷
  • 尺寸：300mm×200mm×100mm，重量：5kg
• 功能特点
  • 采用模块化设计，便于安装与维护，可根据设备需求灵活扩展输出路数
  • 内置智能监控芯片，实时监测各路输出电压、电流，异常时快速切断供电
  • 具备浪涌抑制功能，有效抵御电网波动对设备的冲击
  • 支持与设备主控系统通信，可远程监控供电状态与故障报警
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura 系列半导体设备，用于刻蚀机、沉积设备等的供电分配，保障 300mm 与 200mm 晶圆制造工艺中各部件的稳定供电。