• 产品名称：设备冷却系统水泵（Equipment Cooling System Water Pump）
• 产品简介：该水泵是 AMAT 半导体设备冷却系统的核心动力部件，用于驱动冷却介质在设备各发热部件间循环流动，将设备运行过程中产生的热量及时带走，保障设备各部件在适宜温度下运行，避免因过热导致性能下降或损坏。
• 技术规格
  • 额定流量：50L/min，额定扬程：30m，额定功率：2.2kW
  • 适配冷却介质：去离子水，工作温度：5℃至 40℃
  • 工作压力：0-10bar，防护等级：IP55，电机类型：三相异步电机
  • 尺寸：400mm×250mm×300mm，重量：20kg
• 功能特点
  • 采用不锈钢叶轮与泵体，耐腐蚀，适配半导体洁净环境
  • 内置流量与压力传感器，实时监测冷却介质流动状态
  • 具备过载、过热、空转保护功能，延长水泵使用寿命
  • 运行噪音低，振动小，适应半导体工厂的生产环境
• 应用场景：用于 AMAT 各类半导体设备的冷却系统，适配刻蚀机、沉积设备、离子注入机等，保障设备工艺腔室、射频电源、伺服电机等部件的冷却。