• 产品名称：晶圆检测传感器（Wafer Inspection Sensor）
• 产品简介：该传感器是半导体设备晶圆传送与工艺过程中的关键检测部件，用于实时检测晶圆的存在、位置、平整度等状态，将检测信号反馈至设备主控系统，保障晶圆传送精准与工艺稳定，避免晶圆损伤。
• 技术规格
  • 检测对象：200mm/300mm 晶圆，检测精度：±0.01mm
  • 检测方式：激光扫描 + 电容感应，响应时间：≤0.1s
  • 输出信号：4-20mA 模拟信号，供电电压：24VDC
  • 工作温度：-20℃至 80℃，防护等级：IP65
• 功能特点
  • 采用复合检测技术，检测结果精准可靠，不受环境光干扰
  • 具备自动校准功能，用户可通过设备主控系统进行在线校准
  • 内置温度补偿模块，在宽温度范围内保持检测准确性
  • 支持多种通信协议，可与 AMAT 设备主控系统无缝对接
• 应用场景：适配 AMAT 晶圆传送设备、工艺腔室设备等，用于晶圆传送过程中的位置检测、工艺腔室内晶圆存在检测等，保障半导体制造过程的精准与高效。