• 产品名称：真空隔离阀（Vacuum Isolation Valve）
• 产品简介：该阀门是半导体真空工艺设备的关键部件，用于实现真空腔室与真空管道、其他腔室之间的隔离与连通，保障腔室真空度与工艺气体纯度，同时便于腔室维护与检修，是真空工艺设备的重要组成部分。
• 技术规格
  • 通径：100mm，材质：不锈钢 316L，密封件：全氟醚橡胶
  • 工作压力：1×10^-9 Torr 至 1atm，泄漏率：≤1×10^-10 mbar・L/s
  • 驱动方式：电动，开关时间：≤3s，工作温度：-30℃至 150℃
  • 接口：CF63 真空法兰，防护等级：IP54
• 功能特点
  • 采用单刀双密封结构，密封性能优异，有效防止气体泄漏
  • 开关动作平稳，无颗粒产生，满足半导体工艺的洁净度要求
  • 配备位置传感器，实时反馈阀门开关状态，与设备主控系统联锁
  • 结构紧凑，安装维护便捷，使用寿命≥100000 次开关循环
• 应用场景：用于 AMAT Endura、Centura 系列 PVD、CVD、刻蚀等真空工艺设备，适配腔室与真空系统的隔离，保障工艺过程的真空环境稳定。