• 产品名称：设备冷却系统循环泵组
• 产品简介：该泵组是 AMAT 半导体设备冷却系统的核心部件，专为高负载设备设计，用于为射频电源、工艺腔室、静电卡盘等发热部件提供稳定的冷却循环水流，适配多款 AMAT 刻蚀、沉积、CMP 设备，具备流量与压力智能调节功能，是设备长期稳定运行的基础保障组件。
• 技术规格
  • 流量范围：0-60L/min，流量调节精度 ±0.3L/min
  • 工作压力：0-1.0MPa，压力稳定精度 ±0.01MPa
  • 材质：泵体采用 316L 不锈钢，叶轮为工程塑料材质，耐腐蚀
  • 工作温度范围：5℃至 45℃，适配冷却系统水温需求
  • 电机功率：2.0kW，工作效率≥88%
  • 防护等级：IP55，适配工业洁净环境
  • 使用寿命：≥12000 小时连续运行
• 功能特点
  • 采用变频控制技术，可根据设备发热情况自动调节流量与压力，节能效果显著
  • 内置流量、压力、温度三重监测模块，参数异常时立即触发报警并切换备用泵
  • 低噪音设计，运行噪音≤52dB，适配洁净厂房环境
  • 具备自吸功能，无需手动灌液，安装与维护便捷
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura、Reflexion 等系列设备，用于射频电源、静电卡盘、抛光垫修整器等部件的冷却，应用于半导体晶圆制造全流程，尤其适用于高功率等离子体刻蚀与高速 CMP 抛光等发热量大的工艺环节，保障设备稳定运行。