• 产品名称：半导体设备伺服驱动模块
• 产品简介：该伺服驱动模块是半导体自动化设备的核心动力控制部件，用于驱动晶圆传输机器人、腔室门开关等伺服电机，提供精准的速度和位置控制，适配应用材料多款自动化晶圆传输系统和工艺设备，是保障设备运动精度和稳定性的关键部件。
• 技术规格：
  • 适配伺服电机功率范围 0.5kW-5kW，可满足不同负载的驱动需求。
  • 位置控制精度可达 ±0.001mm，速度控制精度 ±0.01%，保障运动精准性。
  • 支持脉冲控制、总线控制等多种控制方式，适配不同设备控制系统。
  • 输入电压为三相 380V AC，频率 50/60Hz，适配工业供电标准。
  • 过载能力达 200% 额定电流，可持续 10 秒，适配设备瞬时负载变化。
  • 工作温度范围 0℃至 40℃，具备良好的散热性能。
• 功能特点：
  • 采用矢量控制技术，电机运行平稳，噪音低，效率高，降低设备能耗。
  • 具备电机参数自整定功能，可自动适配不同型号伺服电机，简化调试流程。
  • 内置过流、过压、过载、过热等保护功能，保护电机和驱动模块安全。
  • 支持实时状态监测，可通过通信接口上传电机转速、位置、电流等数据。
  • 模块化设计，安装便捷，维护简单，可快速更换故障模块。
• 应用场景：主要应用于半导体晶圆传输机器人的手臂驱动、光刻设备的工作台驱动、刻蚀设备的腔室部件运动控制等，适配 200mm、300mm 晶圆生产线的自动化设备，保障晶圆传输精准、腔室动作稳定，提升设备运行效率。