• 产品名称：直流电源模块
• 产品简介：该直流电源模块是应用材料公司研发的高性能电源转换部件，专为半导体制造设备设计，可将输入的交流电转换为稳定的直流电，为设备中的各类控制电路、执行机构等提供可靠的电力支持，是保障设备稳定运行的核心电源部件之一。
• 技术规格
  • 输入电压范围为 AC 170-264V，输出电压为 DC 24V，输出电流可达 20A。
  • 电压调整率小于 0.1%，负载调整率小于 0.2%，保证输出电压的稳定性。
  • 纹波与噪声小于 10mVp-p，为设备提供洁净的直流电源。
  • 转换效率高达 94%，符合节能要求。
• 功能特点
  • 具备过流、过压、过温、短路等全方位的保护功能，当出现异常情况时，能迅速保护模块与后端设备。
  • 支持并联运行，可根据设备的功率需求灵活扩展输出功率。
  • 启动时间小于 500ms，能快速响应设备的供电需求。
  • 采用无风扇设计，通过自然散热，降低设备运行噪音，同时减少灰尘进入，提高模块的可靠性。
• 应用场景：适用于半导体制造中的各类设备，如等离子体刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备等，为设备的控制系统、射频电源、静电卡盘等部件提供稳定的直流电源，保障设备的正常运行与工艺的精准执行。