• 产品名称：射频匹配网络控制板
• 产品简介：该控制板是半导体设备射频系统中的核心部件，主要用于射频匹配网络的参数调节与控制，通过实时监测射频信号的相位、幅值等参数，自动调整匹配网络的阻抗，使射频电源与负载之间达到最佳匹配状态，提升射频能量的传输效率，保障等离子体工艺的稳定性。
• 技术规格
  • 工作频率范围为 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz 等常用射频频段，适配不同的半导体工艺需求。
  • 阻抗调节范围为 1-1000Ω，调节精度为 0.1Ω，确保精准的阻抗匹配。
  • 控制接口采用 Ethernet，通信速率为 10/100Mbps，便于与设备主控制系统连接。
  • 工作电压为 DC 12V，功耗小于 20W。
• 功能特点
  • 具备自动匹配功能，响应时间小于 100ms，能快速适应负载变化，保证射频能量的高效传输。
  • 实时监测射频信号的功率、反射系数等参数，并具备数据记录与分析功能，为工艺优化提供数据支持。
  • 支持手动与自动两种控制模式，方便操作人员根据实际情况进行调整。
  • 内置故障诊断系统，能及时发现并报警匹配网络中的故障，便于维护。
• 应用场景：主要应用于等离子体刻蚀设备、物理气相沉积设备、等离子体增强化学气相沉积设备等，用于控制射频匹配网络，保障等离子体的稳定产生与维持，提升晶圆的刻蚀、沉积等工艺质量，适用于逻辑芯片、存储芯片等半导体器件的制造。