• 产品名称：真空密封垫圈
• 产品简介：这是应用材料公司生产的一款用于半导体设备真空腔体的专用密封垫圈，采用高品质材料制作，能在真空环境下实现可靠的密封效果，防止腔体漏气，保障半导体制造工艺所需的真空条件，是维持设备正常运行的重要基础部件。
• 技术规格
  • 尺寸为外径 150mm、内径 120mm、厚度 5mm，适配特定型号的真空腔体密封槽。
  • 适用真空度范围为 10⁻⁷Pa 至常压，能满足高真空半导体工艺的要求。
  • 工作温度范围为 - 120℃至 200℃，适配不同工艺的温度环境。
  • 采用氟橡胶材质，具备良好的耐化学腐蚀性和耐磨性。
• 功能特点
  • 密封性能优异，泄漏率小于 10⁻⁹Pa・m³/s，确保真空腔体的高真空度。
  • 弹性好，压缩回弹率高，能有效补偿密封面的不平整，保证密封的可靠性。
  • 使用寿命长，在正常使用条件下，可承受 1000 次以上的开合操作。
  • 安装简便，无需特殊工具，可快速完成安装与更换。
• 应用场景：主要应用于半导体制造设备的真空腔体，如刻蚀腔体、沉积腔体、真空传输腔体等，用于腔体门、法兰连接等部位的密封，保障物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀等工艺在高真空环境下进行，防止外界气体进入腔体影响工艺质量，适用于 200mm、300mm 晶圆的制造设备。