• 产品名称：真空压力传感器
• 产品简介：该压力传感器是应用材料公司专为半导体设备真空系统设计的检测部件，采用电容式测量原理，能精准测量真空腔体内部的压力，将压力信号转换为标准电信号传输给控制系统，为真空系统的压力控制提供数据支撑，保障半导体工艺所需的真空环境，适配各类高真空、超高真空设备。
• 技术规格
  • 测量范围为 10⁻¹⁰Pa 至 100Pa，测量精度为 ±0.1% 满量程。
  • 输出信号为 4-20mA，支持 RS485 通信接口，可与设备控制系统对接。
  • 工作温度范围为 - 40℃至 85℃，适配半导体设备的复杂工作环境。
  • 响应时间小于 10ms，能快速响应压力变化，保障控制及时性。
  • 材质为 316L 不锈钢，抗腐蚀性能强，适配真空腔体的工作环境。
• 功能特点
  • 采用电容式测量技术，测量精度高，长期稳定性好，漂移小于 0.1%/ 年。
  • 具备温度补偿功能，在不同工作温度下仍能保持测量精度。
  • 结构设计坚固，抗振动性能强，可承受设备运行时的振动冲击。
  • 安装方式为螺纹式，接口为 1/4 英寸 NPT，安装便捷，密封性能好。
  • 具备过载保护功能，当压力超出测量范围时，传感器自动保护，防止损坏。
• 应用场景：主要应用于半导体设备的真空腔体、真空抽气系统、真空传输系统等，如刻蚀设备、沉积设备、离子注入机等，用于实时监测真空腔体内部压力，为真空系统的抽气与充气控制提供数据，保障工艺所需的真空度，适配 200mm、300mm 晶圆的制造工艺，提升工艺稳定性。