• 产品名称：自动化工艺控制系统模块
• 产品简介：该模块是应用材料公司研发的半导体设备自动化控制核心部件，集成了数据采集、逻辑控制、工艺参数管理等功能，能实现半导体设备各工艺环节的协同控制，具备控制精度高、响应速度快、稳定性强等特点，是保障半导体设备自动化、精准化运行的关键部件，适配各类半导体制造设备。
• 技术规格
  • 集成 64 路数字输入通道和 32 路数字输出通道，满足设备多信号采集与控制需求。
  • 支持 Ethernet/IP、Profinet 等多种工业通信协议，通信速率为 100Mbps。
  • 处理器为 32 位工业级 CPU，运算速度快，数据处理能力强。
  • 工作电压为 DC 24V，工作电流为 5A，功耗小于 30W，能耗较低。
  • 工作温度范围为 - 20℃至 70℃，防护等级为 IP65，适应设备内部环境。
• 功能特点
  • 具备工艺参数存储功能，可存储 1000 组工艺配方，方便工艺切换与管理。
  • 采用模块化设计，各功能单元独立，故障排查与维修便捷，可快速更换故障模块。
  • 具备逻辑控制与联锁保护功能，防止误操作导致的设备损坏与工艺异常。
  • 数据采集精度高，采集速率可达 1000 次 / 秒，保障工艺参数监测的及时性。
  • 支持远程监控与诊断，可通过网络实现设备的远程管理与维护。
• 应用场景：广泛应用于半导体制造设备的控制系统，如化学气相沉积设备、等离子体刻蚀机、快速热退火设备、晶圆传输系统等，用于实现工艺参数的精准控制、设备各部件的协同运行，适配 200mm、300mm 晶圆的制造流程，保障半导体器件的制造质量与生产效率。