• 产品名称：数字控制信号转接板
• 产品简介：该转接板是应用材料公司为半导体设备控制系统设计的信号转换与传输部件，负责将设备各传感器、执行器的信号进行转接与分配，实现不同类型信号的转换，保障控制信号的稳定传输，适配半导体设备复杂的信号传输需求，是控制系统信号传输的关键中间部件。
• 技术规格
  • 适配信号类型包括数字输入 / 输出信号、模拟输入 / 输出信号、脉冲信号等。
  • 数字信号传输速率为 10Mbps，模拟信号传输精度为 ±0.1%。
  • 工作电压为 DC 12-24V，工作电流为 5A，功耗小于 20W。
  • 尺寸为 200mm×150mm×20mm，适配设备内部的安装空间。
  • 工作温度范围为 - 40℃至 85℃，适应半导体设备的严苛工作环境。
• 功能特点
  • 采用模块化设计，各信号通道独立，信号传输无干扰，保障信号稳定性。
  • 具备信号放大功能，可将微弱信号放大至控制系统可识别的标准信号。
  • 具备过压、过流保护电路，防止信号过流、过压损坏转接板与其他部件。
  • 安装方式为卡轨式，拆装便捷，便于维护与更换。
  • 抗干扰能力强，符合工业级电磁兼容性标准，避免外界干扰信号传输。
• 应用场景：适用于各类半导体制造设备的控制系统，如离子注入机、化学机械抛光设备、湿法清洗设备等，用于信号的转接与传输，保障传感器、执行器与控制系统之间的信号稳定传输，适配 200mm、300mm 晶圆的制造设备，提升设备控制系统的可靠性与稳定性。