• 产品名称：高压气动截止阀
• 产品简介：该产品是应用材料公司专为半导体设备高压流体系统设计的核心通断控制部件，采用气动驱动式截止结构，能在高压工况下实现工艺气体、特种流体的精准通断控制，具备密封性能优异、耐压性强、响应速度快等特点，可有效防止高压流体泄漏，是保障半导体设备高压流体系统安全、稳定运行的关键元件。
• 技术规格
  • 额定工作压力为 0-4.0MPa，最高耐压值达 6.0MPa，适配高压流体输送需求。
  • 阀体材质为锻造 316L 不锈钢，密封件采用全氟醚橡胶，耐高压、抗化学腐蚀。
  • 驱动方式为气动单作用，复位方式为弹簧复位，额定驱动气压 0.4-0.6MPa。
  • 通径规格为 8mm，流道采用直通式设计，流体阻力小，无死区残留。
  • 工作温度范围为 - 40℃至 150℃，响应时间小于 60ms，通断切换高效。
  • 泄漏率小于 10⁻⁹Pa・m³/s，满足半导体超高洁净工艺的密封要求。
• 功能特点
  • 采用锻造阀体一体化设计，机械强度高，能承受高压工况下的压力冲击，无变形。
  • 阀芯经过精密研磨处理，与阀座贴合度达 99.9% 以上，高压密封性能稳定。
  • 具备手动应急操作功能，气动系统故障时可通过手动旋钮实现阀门通断，提升维护便捷性。
  • 阀杆采用波纹管密封结构，彻底杜绝阀杆处的流体泄漏，适配超高洁净工艺环境。
  • 安装接口为卡套式，适配 1/4 英寸高纯流体管路，拆装便捷且密封可靠。
• 应用场景：主要应用于半导体设备的高压工艺气体输送系统、离子注入机高压气源管路、化学气相沉积设备高压前驱体输送回路等，用于硅烷、磷烷、砷烷等高压特种工艺气体的通断控制，适配 200mm、300mm 晶圆的制造工艺，广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、功率半导体的生产流程。