• 产品名称：波纹管座（Bellows Seat）
• 产品简介：属于半导体设备中的真空密封部件，专门用于设备真空反应腔中波纹管的安装与定位，起到密封与支撑的双重作用，可有效保障反应腔的真空环境稳定，避免因密封失效导致的工艺异常，适配于特定型号的应用材料半导体工艺设备。
• 技术规格
  • 材质：采用 316L 不锈钢，具备优良的耐腐蚀性与耐高温性，适配真空与化学腐蚀环境。
  • 尺寸规格：外径 85mm，内径 60mm，高度 25mm，适配对应型号的波纹管安装尺寸。
  • 密封面粗糙度：Ra≤0.8μm，确保与波纹管及腔体的密封贴合度，真空泄漏率小于 1×10^-9 mbar・L/s。
  • 工作温度范围：-20℃ - 200℃，适配半导体工艺中的温度变化区间。
• 功能特点
  • 精准的尺寸公差控制，保障与波纹管及腔体的完美适配，安装后无需额外调整。
  • 表面经过特殊处理，增强耐磨性，延长与波纹管的摩擦使用寿命，降低维护频率。
  • 具备良好的真空兼容性，不会释放污染物影响半导体晶圆的加工质量。
  • 结构设计紧凑，不占用过多腔体内部空间，适配复杂的腔体内部结构布局。
• 应用场景：广泛应用于应用材料 Centura 系列等半导体刻蚀、沉积设备的真空反应腔中，用于波纹管与腔体壁或其他部件的连接位置，在晶圆的刻蚀、薄膜沉积等工艺中，维持反应腔的高真空环境，保障工艺的顺利进行。