• 产品名称：石英盖板（Quartz Cover Plate）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中用于保护内部部件或作为反应腔特定区域遮挡的石英部件，由高纯石英材料制成，具有优良的耐高温、耐腐蚀以及透光性能，适配于半导体工艺设备中的特定位置，保障工艺的精准进行。
• 技术规格
  • 材质：高纯石英，纯度达 99.999%，减少杂质对半导体工艺的影响。
  • 尺寸：直径 200mm，厚度 5mm，适配 200mm 晶圆工艺设备的相关尺寸要求。
  • 耐高温温度：1200℃，可承受半导体工艺中的高温环境。
  • 透光率：在紫外 - 可见光波段透光率大于 90%，满足特定工艺的透光需求。
• 功能特点
  • 表面经过精密抛光处理，表面粗糙度小于 0.1μm，减少对工艺气体或反应产物的吸附。
  • 具备优良的化学稳定性，可抵御半导体工艺中常用的腐蚀性气体，如氟气、氯气等的侵蚀。
  • 热膨胀系数小，在高温与低温交替变化时，不易发生变形，保障部件的尺寸稳定性。
  • 机械强度较高，可承受一定的机械压力，避免在安装与使用过程中破损。
• 应用场景：主要应用于应用材料的 RTP（快速热处理）设备、氧化炉等半导体工艺设备中，可作为加热腔的盖板，保护内部加热元件，或作为反应腔的透光窗口，保障工艺过程中的热量传递与反应环境稳定。