• 产品名称：电源分配板（Power Distribution Board）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中的核心电源分配部件，负责将设备的主电源分配到各个子系统、模块以及相关用电部件，同时具备过流、过压等保护功能，保障设备各部件的供电稳定与安全，适配于特定型号的半导体工艺设备电源系统。
• 技术规格
  • 输入电压：三相 480VAC，50/60Hz，输入电流：100A。
  • 输出路数：8 路，每路输出电流规格：10A - 30A 不等，适配不同部件的用电需求。
  • 保护功能：具备过流保护（动作电流为额定电流的 1.2 倍）、过压保护（动作电压为额定电压的 1.15 倍）以及短路保护功能。
  • 工作温度：0-50℃，存储温度：-20-85℃。
• 功能特点
  • 采用模块化设计，各输出回路独立，便于故障排查与维护，更换部件时无需整体拆卸。
  • 配备高精度的电流、电压监测模块，可实时反馈各回路的供电状态，便于设备的状态监控。
  • 防护等级达 IP20，具备防尘与防触摸保护，适配设备内部的安装环境。
  • 响应速度快，当出现过流、过压等异常情况时，可在 10ms 内切断电源，保护用电部件。
• 应用场景：应用于应用材料的 PVD、CVD 以及刻蚀等各类半导体前道工艺设备中，作为设备电源系统的核心分配部件，保障各部件如射频电源、加热模块、控制电路等的稳定供电，确保工艺的连续与稳定进行。