• 产品名称：气动阀门执行器（Pneumatic Valve Actuator）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中驱动气体管路阀门开关的动力部件，采用气动驱动方式，可快速、精准控制阀门的开启与关闭，适配特定型号的工艺气体阀门，保障工艺气体的通断控制精准。
• 技术规格
  • 驱动方式：双作用气动驱动，工作压力 0.4-0.8MPa。
  • 输出扭矩：50N・m，适配中等口径工艺阀门的驱动需求。
  • 动作时间：开启时间小于 1s，关闭时间小于 0.8s，响应迅速。
  • 适配阀门类型：球阀、蝶阀等，适配口径 1/2-2 英寸。
  • 工作温度：-20℃ - 80℃，适配设备的工作环境。
• 功能特点
  • 动作响应迅速，可快速控制阀门通断，保障工艺气体流量的精准控制。
  • 具备位置反馈功能，可实时反馈阀门的开关状态，为控制系统提供信号。
  • 结构紧凑，安装空间小，适配设备内部的管路布局。
  • 采用耐磨密封部件，使用寿命长，维护频率低。
• 应用场景：应用于应用材料的半导体设备气体输送系统中，控制工艺气体管路中阀门的开关，保障工艺气体的精准通断，适配于 CVD、ALD、刻蚀等各类半导体工艺设备。