• 产品名称：真空压力传感器（Vacuum Pressure Sensor）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中用于监测真空腔体压力的核心检测部件，采用高精度测量元件，可实时、精准监测腔体内部的真空度，将数据传输至控制系统，为工艺控制与真空系统保护提供依据，适配特定型号的真空腔体。
• 技术规格
  • 测量范围：1×10^-8 - 1000mbar，覆盖半导体工艺全真空区间。
  • 测量精度：±0.1% FS，保障压力测量的精准性。
  • 输出信号：4-20mA 模拟信号，适配设备控制系统的信号接收标准。
  • 工作电压：直流 24V，功耗小于 1.5W。
  • 工作温度：-30℃ - 150℃，适配设备的工作温度环境。
• 功能特点
  • 采用电容式测量原理，稳定性好，长期漂移小于 0.1% FS / 年。
  • 具备快速响应能力，响应时间小于 50ms，可实时反馈压力变化。
  • 内置温度补偿模块，减少温度变化对测量精度的影响。
  • 具备过压保护功能，当压力超过测量上限时，自动保护传感器，延长使用寿命。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀设备、CVD 设备、PVD 设备等半导体工艺设备的真空腔体中，监测腔体内部真空度，保障工艺过程中的压力稳定，同时为真空系统的安全运行提供保护信号。