• 产品名称：射频电源电缆组件（RF Power Cable Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中连接射频电源与匹配网络的关键传输部件，采用低损耗射频电缆与专用连接器，实现射频能量的低损耗、稳定传输，适配特定型号的射频系统，保障等离子体工艺的能量供应稳定。
• 技术规格
  • 电缆类型：半刚性射频电缆，特性阻抗 50Ω，适配半导体射频系统标准。
  • 工作频率：13.56MHz，适配半导体常用射频频段。
  • 额定功率：15kW，满足高功率等离子体工艺需求。
  • 连接器类型：N 型精密射频连接器，插拔次数大于 500 次，接触电阻小于 0.001Ω。
  • 长度：3m，适配设备内部射频部件的安装距离。
• 功能特点
  • 低损耗设计，射频信号传输损耗小于 0.3dB/m，保障能量传输效率。
  • 屏蔽性能优良，屏蔽衰减大于 100dB，可有效防止射频信号泄漏与外部干扰。
  • 采用耐高温、耐化学腐蚀的外护套材料，适配半导体设备的恶劣工作环境。
  • 连接器具备防呆设计，避免安装错误，提升装配效率与安全性。
• 应用场景：主要应用于应用材料的刻蚀设备、PVD 设备等半导体工艺设备中，在晶圆的刻蚀、金属沉积等等离子体工艺过程中，连接射频电源与匹配网络，保障射频能量的稳定传输。