• 产品名称：压力传感器（Pressure Sensor）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中的关键检测部件，用于实时监测设备真空腔体、气体管路等部位的压力，将压力信号转换为电信号传输至设备控制系统，为工艺控制与安全保护提供依据，适配特定型号的半导体工艺设备的压力监测系统。
• 技术规格
  • 测量范围：1×10^-6 - 1000mbar，覆盖半导体工艺的真空与常压压力范围。
  • 测量精度：±0.2% FS，保障压力测量的精准性。
  • 输出信号：4-20mA 模拟信号，适配设备控制系统的信号接收需求。
  • 工作电压：直流 24V，功耗小于 2W。
  • 工作温度：-40℃ - 125℃，适配设备的工作温度环境。
• 功能特点
  • 采用电容式测量原理，测量精度高，稳定性好，可长期在恶劣环境下稳定工作。
  • 具备抗干扰能力，可有效抵御设备内部的电磁干扰，保障信号传输的稳定性。
  • 结构紧凑，安装方便，适配设备内部的狭小空间。
  • 具备过压保护功能，当压力超过测量范围时，可自动保护传感器，延长使用寿命。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀设备、CVD 设备、PVD 设备等半导体工艺设备中，监测真空腔体、气体管路等部位的压力，保障工艺过程中的压力稳定，同时为设备的安全保护提供依据。